1. 全國訂購服務熱線:010- 82595673 88546128


          等離子清洗機PDC-36G
           
             
          查看大圖

          合肥科晶等離子清洗機PDC-36G

          低功率設定:直流680V,10mA,6.8W,中功率設定:直流700V,15mA,10.5W,高功率設定:直流720V,25mA,18W ,射頻源輸出頻率:13.56MHz ,等離子直流電源,輸入電壓:220V,50Hz

          • 市場價 ¥0 (全國免運費)價格僅供參考,請電話或在線咨詢優惠價!
          咨詢熱線:010-88546128 82595673 工作時間:周一至周五 8:30-18:00
          實驗室儀器集成供應商 北京中儀公司旗下中國儀器網為您服務
            等離子清洗機PDC-36G銷售1   等離子清洗機PDC-36G銷售2   銷售3 合肥科晶等離子清洗機PDC-36G質量三包,敬請來電或在線聯系優惠折扣價格。
          等離子清洗機PDC-36G價格更優惠,供貨更及時,服務更周到!
          16年批發銷售實驗室儀器設備,信譽保證! 歡迎選購!
          中國儀器網

          3英寸迷你型等離子清洗機PDC-36G合肥科晶產品簡介:
          PDC-36G 等離子清洗機是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級有機物污染。在射頻電源的作用下,去除速率最大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進行預處理,對生長具有顯著的作用 。

          3英寸迷你型等離子清洗機PDC-36G合肥科晶產品技術參數:

          名稱

          3"等離子清洗機--PDC-36G

           

           

          視頻

                           操作視頻

           

            

           

          主要特點

           

           

          ·結構緊湊、小型化的桌上型儀器 

          ·用各種氣體清洗和去除晶片上納米級有機污染物 

          ·在制膜實驗之前預先清潔鍍膜基底的優秀工具。清洗后鍍質量可以更好 

          ·鉸鏈式門,方便裝樣 

          ·石英腔的直徑是3英寸,在里面可以放入一個石英舟,最大清洗一個2英寸的基片 

          ·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更換 

          ·使用可調射頻電源,可以設置功率為低、中、高級別;低成本、操作安全

           

           

            

           

          主要參數

           

          ·低功率設定:直流680V,10mA,6.8W 

          ·中功率設定:直流700V,15mA,10.5W 

          ·高功率設定:直流720V,25mA,18W 

          ·射頻源輸出頻率:13.56MHz 

          ·等離子直流電源 

          ·輸入電壓:220V,50Hz

           

           

           

          等離子腔室

           

          ·直徑75mmx長200mm的石英墻體,前蓋可以開啟 

          ·高純度石英腔體,使用壽命比玻璃長

           

          真空計

          設備標配一個數顯電阻真空機用于實時監測清洗倉內的真空度。

           

            

           

          可選配件

           

          ·可以訂購額外的石英腔體,用于備用 

          ·如果需要一個通入兩種氣體的工藝解決方案,PDC-36G等離子清洗機可以2路混氣系統組合) 

          ·可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

            

              

           

            

           真空泵和閥

           

          ·此設備不包含真空泵

            

            

          工作氣體

           

          ·多種氣體可以用于等離子清洗,例如氮氣、氬氣、空氣、混合氣體,主要取決于處理何種材料。

           ·可以使用<4%的H2混合惰性氣體 

          ·警示:不能使用可燃性及腐蝕性氣體

           

           

           

           

            

          等離子清洗刻蝕的方法

           

          外形尺寸

          353mmLx380mmWx225mm H

          凈重

          8kg(不含泵)

          認證

          CE認證

            

           質保期

           

          一年保修,終身技術支持。 

          特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

          2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

           

          工作原理

          等離子清洗機工作原理

          優惠價提供下列儀器

          瀏覽過商品